| 一种多工位扫描电镜EBSD样品台 |
| CN201720092546.3 2017-1-24 实用新型 |
| 2017-9-1 |
| 本实用新型涉及一种多工位扫描电镜EBSD样品台，可同时装多个样品的扫描电镜EBSD样品台，此样品台由一个底座、多个平台，一个挖槽试样台组成。底座起固定70度角的作用，平台和挖槽试样台的结合可单独控制每个样品的高度，从而实现在同一水平面上的测量，挖槽试样台侧面可测量试样另一个表面，此实用新型着重解决在进行EBSD测试时多个样品形状、大小和厚度不一样的样品表面表征的问题，且挖槽试样台与底座的配合可调节挖槽试样台的高度，即可整体调节所有样品的高度。样品台具有造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广、不易损坏、同时表征多个样品表面的优点。 |
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