电感耦合高频率等离子体质量光谱仪。
 
DE3776436  1987-7-6  发明授权

1992-3-12
 
  本发明的感应耦合等离子体分析仪预先使静电 屏蔽装置保持于接地电位,等离子体由于这种静电屏 蔽,与感应线圈产生的电场屏蔽隔离,从而保持与静 电屏蔽装置几乎相同的接地电位。因此所产生的离 子的电压变化得以抑制,同时由等离子体取出的离子 的能量也较低,且其能量范围也小,从而使质量分析 仪的分辨率得到了改善。另外,在小孔间产生的收缩 放电也受到抑制,从而防止了紫外线噪声的产生。
 
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