| 扫描探针显微镜用传感器装置 |
| BG11114312 2012-2-16 发明授权 |
| 2017-8-31 |
| 该装置用于扫描探针显微镜(SPM)，包括扫描原子力显微镜(AFM)。 它包括无源保持器主体(6)，该无源保持器主体(6)具有通常用于扫描探针显微镜SPM传感器的尺寸，并且具有朝向其窄侧设置的沟槽。 所述装置还包括一个尺寸减小的单片实际传感器(7)，所述传感器由一个微悬臂(3')和一个探针元件组成，所述传感器(7)插入并刚性悬臂在无源保持器主体(6)的沟槽(10)中。 在一个实施例中，该装置包括在实际传感器主体的自由端处的第二悬臂结构(11)。 在其它实施例中，微悬臂的长度与实际传感器主体的侧边的长度之比在1 : 10至5 : 1的范围内，其中微悬臂从该侧边延伸。 所述装置克服了传感器SPM的生产和操作中的技术困难，这是由于微悬臂在当前制造的传感器中延伸的国家的微悬臂长度和尺寸之间存在很大差异。 |
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