| 狭缝机构 |
| JP59205154 1984-9-29 发明申请 |
| 1986-4-26 |
| 目的 : 所述带字幕的狭缝机构，以简化的结构和一真空室的外部操作与容易通过连接一可移动的狭缝件用于形成所述狭缝以双压电晶片型压电元件10，和施加电压在响应于一个狭缝宽度，以使它。结构 : 一种用于使用在质量光谱仪的狭缝机构，等等，被安装通过拟合所述尖端的一端双压电晶片型压电元件10为一凹槽8，同时一位置传感器14是一种光断续器被提供狭缝之间。所述的双压电晶片型压电元件是构造由形成所述一对狭缝的狭缝S与使用的片2，6所述狭缝件2上固定一支架4，和固定基端部的所述该支架4上的狭缝件6通过一夹持器12的装置。电压施加到所述的双压电晶片型压电元件10是由一控制信号从所述传感器14到设定一预定的狭缝宽度。因此，所述狭缝机构可以调整仅通过传送电气信号到所述真空室，和其结构可以大大简化。 |
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