| 等离子体离子源的质量光谱仪 |
| JP01023835 1989-2-3 发明申请 |
| 1990-8-14 |
| 目的 : 以提高安装精度用于一种离子的抽出式电极和它们的离子加速电极和所述再现性所述上和提高所述可靠性数据通过固定所述两个电极到所述相同的基板上，使得它们中心是相同的。结构 : 一种离子的抽出式电极30和一个离子加速电极40被固定到一基板50由黄铜的，等，使得所述孔的表面31，41设置在所述各自的电极是并联每个其它和所述两个孔的中心是相同的。在这个时间，由用于EX的绝缘60。derline的，等，应被插入，使得所述的离子加速电极40是从短路的风险自由与所述离子抽取电极30在电气术语。 |
微信公众号