| 复合式显微镜观察方法具有倒置式光学显微镜，原子力显微镜，复合式显微镜进行观察和程序以及方法 |
| WOJP16055889 2016-2-26 发明申请 |
| 2017-8-31 |
| 该复合式显微镜观察方法使用具有倒置式光学显微镜和原子力显微镜普遍采用的方法扫步骤(50)，在该悬臂沿Z轴和探头为接近样品表面层，直至样品表面层信息可以获得，悬臂观察步骤(51)的悬臂使用倒置光学显微镜观察和获取至少一个形状信息用于悬臂，观察位置移动步骤(52)，用于移动所述倒置式光学显微镜下观察位置沿着z-轴所述探头的长度方向至少基础上，荧光观察步骤(53)使用倒置光学显微镜观察荧光，与样品表面层信息取得步骤(54)采集的样品通过清扫面层信息的悬臂至少沿Z轴。所述方法步骤中，悬臂观察步骤，和观察位置移动步骤依次进行。荧光观察步骤后进行观察位置移动步骤。样品表面层信息采集步骤，该方法步骤(50)之后进行。 |
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