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掠入射的反射光谱仪。

EP84114155 1984-11-23 发明申请

1985-6-19

本发明包括在一个掠入射反射光谱仪，其中的一个表面上引起的光被到incide一个样品，和一个从所述样品表面被检测反射的光的强度，从而测量一个电子吸收光谱的一种材料吸附到所述样品表面，其特征在于，所述入射光被可见光或紫外线光，和使所述入射光具有一预定的掠角以所述样品表面。