质量光谱仪
 
JP63325850  1988-12-26  发明申请

1990-7-3
 
  目的 : 以达到一个精确的测量样品的样品的变化的强度比离子通过提供一种多个菱形样品座,以给出的一主离子束角度相对于一样品座,用于样品电离。结构 : 菱形样品座12-14被提供具有相对的侧边与一角度相对于一初级离子光束2。该样品基座13与一参考样品是涂覆和所述样品座12和14被涂覆预先精确地与一待测样品。这里,一种参考样品被离子化的所述主离子束2的上方,同时所述待测样品精确被离子化的下方,以使电离有效地即使在一个矩阵。此外,两个样品的强度比可以通过稍微移动该样品座12-14被改变以获得所述最佳条件容易。当所述样品座12和13的位置被移动到所述位置的所述主离子束2,所述后续的测量是可能的。这使得电离和所述参考样品和所述样品的测量,以同时能够精确测量,从而消除机械误差。
 
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