| 离子微 |
| JP63300561 1988-11-30 发明申请 |
| 1990-6-6 |
| 目的 : 以达到一个较高的测量精度与所述移除一深度中的一个边缘效应的密度分布测量通过执行一个上翻“\/关”的一个二次离子的离子束微分析仪在一个高的速度同步的一个主离子束的XY偏转和相关的一个二次离子的图像。结构 : 一主离子束投射所述样品的表面上使一循环扫描与一偏转电极6在XY方向照射到其所期望的测量区域的周边和一个测量区用于该去除的边缘效应。一个执行二次离子的离子偏转控制21所述主偏转控制和一偏转电压同步一个二次的离子被施加到偏转电极11，当所述主离子束被投射在一个所述周边区域中排除所述测量总是作为比较，以一种深度测量区域设定。因此，仅当所述主离子束照射到一个深度测量区域组，所述二次离子束被引入到质量光谱仪。 |
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