| 生产的磁性记录介质 |
| JP63137427 1988-6-6 发明申请 |
| 1989-12-12 |
| 目的 : 以消除波动I所述的一种保护硼膜的强度和提高耐久性，通过执行薄膜形成在所述的一特定值或以下的气氛通过一种质量光谱仪所测得的氢分压。结构 : 在聚酰亚胺膜的衬底1是加热通过一加热器2加热，一种钴铬合金是蒸发从一个蒸发源3，以形成一薄的铁磁金属组成的Cr膜和在一连串的，硼B是从一个蒸发源蒸发4，以形成该防护层由B的氢分压在该薄的B膜所形成的时间被限制到5A≤X10a-9乇在这种情况下。该氢的侵入到保护B在这种方式防止膜和所述B的保护膜具有良好的耐久性是获得。具有良好的重现性。钛，钽，ziroconium，钼，钨，镍，等，是作为该材料对吸气剂的氢。 |
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