| 质量光谱仪 |
| JP63135206 1988-6-1 发明申请 |
| 1989-12-8 |
| 目的 : 以自动进行补偿，根据所述质量块的数量通过提供一种离子束聚焦的补偿装置用于自动补偿的所述聚焦离子束在根据与所述变化磁场中。结构 : 所述一个磁场控制信号发生器7的输出被转换到一仲裁功能由一个功能单元9以增加其以一电源18的Q透镜8aC。因此，根据所述质量块的数量改变所述应用电压，和在所述Q透镜8aC，所述最佳聚焦电压手前所述质量块的数目对应的设定是通过所述仲裁功能的支持。作为结果，所述的聚焦离子束具有不同的质量块的数目总是设定到一个点。它因此可能的是，以获得最佳灵敏度和分辨率的质量性能甚至如果所述的设定值的数量不同。 |
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