质量光谱仪
 
JP63129568  1988-5-27  发明申请

1989-12-1
 
  目的 : 以采取一种精确测量的强度,即使当所述的加强是通过中断所述离子与固定大频率,而使该交流信号与所述相同的频率从所述离子强度检测装置输出一个检测信号。构造 : 当所述输出一个方波的发射器15是一个高电平上,离子排斥电压被一反射电极2上施加一个电离室1内,和当该输出是在零电平; 所述电极被接地。因此,从所述腔室1发射的离子流被中断时与所述发射器15的输出同步。该输出信号被施加在一个lockin放大器12作为一频率参考信号,使得所述放大器12仅提取一个交流信号同步的所述离子流的与所述间歇从所述输出信号的一光电子倍增管10。所述的多个所述质量的离子通过设置该电压可以通过检测出的匝数要在预先施加一个四重电极5上的每个信道调整到所述离子质量针对。从而,离子强度可以采取一个准确的测量。
 
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