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彩色共焦显微镜装置

EP17166752 2010-2-23 发明申请

2017-8-30

本发明涉及用于检查半导体晶片边缘的装置，包括彩色共焦显微镜的照明通道和分析途径，照明通路，包括多色光源，槽和轴向色差的物镜，包括透镜且阿贝值至少由一种材料数低于50，所述分析路径包括所述物镜，彩色过滤槽依次有光强传感器，照明路径的插槽和卡槽的分析途径被设置在基本相同的光被检查晶片的边缘的距离。