| 监视器装置，用于在清洁房间污染 |
| JP63120960 1988-5-18 发明申请 |
| 1989-11-22 |
| 目的 : 以容易地和在一个早期阶段检测从一清洁室中的多个contamina的组合，其源气体-等杂质具有通过切换和驱动依次被产生的抽吸器设置在所述的一个SAMpling口附近。构成 : 一个开关被设定到上，和报警浓度是通过转动一个报警设定浓度控制盘。随后，通过各化学清洗一晶片，其具有被清洗罐的清洗装置12aw12d14aw14d是洗涤由软化水中清洗罐16aw16d脱矿质水，并供给到所述下一个过程从晶片搬运-出部分18aw18d后一种清洗剂具有被消除。即是，一个控制器30，用于例如，打开一个电磁阀2a6a和允许一个采样口2a(2a)一个与一大气压电离质谱仪24以与每个其它通信，和还，所述晶片的吸入空气携带-出部18a一种通过驱动一个空气泵28a一个，并将其以所述的光谱仪24通过一管道20。随后，该26bw26d切换到电磁阀，所述相同的操作被执行。在这样的一种方式，从其一个清洁室10中的多个污染源气体-等杂质具有被产生可被很容易地检测和在一个早期阶段。 |
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