| 质量光谱仪 |
| JP63094883 1988-4-18 发明申请 |
| 1989-10-23 |
| 目的 : 使它可能以传输一种高透过率中的离子束以一分析仪通过构成一狭缝与狭缝板装置设置在该方向的多个相位中抽出所述离子束，和施加独立地电位到所述狭缝板。结构 : 在一狭缝集合体，狭缝板8和9被设置在两个相位，和所述电位所述狭缝的板被独立地制成，以控制由可变功率源11和12。作为结果，该电位分布在所述的孔6和7所述狭缝板8和9; 和所述狭缝板8和9之间，可以调节，和所述注入离子束4的方向可以被容易地控制。也就是说，通过调节所述可变功率源11和12以调整该电位分布，形成在所述该狭缝板8的孔6和7和9，离子束4的一个良好的质量与没有可以得到角度色散。 |
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