| 异物检查装置 |
| JP63044382 1988-2-29 发明申请 |
| 1989-9-4 |
| 目的 : 以执行所述外来的观察对象与所述相同的形状和所述高灵敏度分析装置在一个短时间与良好的可操作性通过切换一束从一混合从所述的电子到所述离子束源; 确定所述所述二次电子的电流量，和所述的二次离子质量分析。结构 : 该散射的光从一晶片11通过所述激光束的辐射和扫描从一个激光振荡器13接收到的是通过一散射的光检测装置15，该外来物体的位置在所述晶片11被确定和存储在存储器装置16。该外来物体或所述等是由所述初级电子照射和扫描从所述混合束源一束的扫描系统1基于所述装置16所述的内容，所述二次电子从所述晶片11是由一个二次电子探测器2检测，所述CRT显示器是基于在所述的大小进行所述检测二次电子的流动对应于所述的异物。当所述混合功率源是切换所述电极的极性，所述辐射和由一离子束扫描被执行，所述二次离子从该晶片11是由一质量光谱仪分析3分析所述外来对象。该观察该外来物体的形状和所述高灵敏度分析可以通过所述相同的装置，而不执行移动一短时间中的样品具有良好的可操作性。 |
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