| 电子自旋共振装置 |
| JP62097299 1987-4-22 发明申请 |
| 1988-10-31 |
| 目的 : 以提高所检测到的缺陷所述的平面分布的分辨率由一个光光束投影在一个样品和检测一个光诱导电子自旋共振(ESR)照射在所产生的信号部分。结构 : 所述光光束5被投影在所述样品4的收缩孔3的外侧装有一空腔谐振器2构成一个电子自旋共振(ESR)装置具有一个磁铁和一个电子自旋光谱仪一起。然后，载波被产生在所述带电平之间的过渡的所述样品的照射部分和将再次在一个有缺陷的部分。所得出的所述的概率取决于所述载波所述的自旋状态，从而所述信号电平的所述所述缺陷而变化的电子自旋共振在所述所述载体产生的时间和所述缺陷是评估从所述的ESR信号电平。该结构，其使用中，以≤(μm的光通量会聚由ESR原理进行缺陷检测与所述极所述平面分布的高分辨率的所述检测到的缺陷。 |
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