| 用于扫描探针显微镜的机械位移装置 |
| RU2015142454 2015-10-7 发明授权 |
| 2017-8-29 |
| 领域 : 物理的方法。在用于扫描探针显微镜(SPM)的机械位移的装置，包括底座1，SPM头2上设置有第一支架3，第二，支架4，第三，支架5，所述第一支架(3)连接到基座(1)和设有第一驱动器6，安装在SPM头2，第二支架4和第三支架5也连接到底座上，第二，支架4上设置有第二驱动器7安装在SPM头2和第三第三驱动器8上设有支架5安装在SPM头2。效果 : 提高了测量accuracy.6Cl，2的双层管 |
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