| 辉光放电发射光谱分析仪 |
| JP62044185 1987-2-27 发明申请 |
| 1988-9-1 |
| 目的：通过提供一种反馈系统来稳定分析，该反馈系统检测使用样品作为阴极的辉光放电管的内部电阻，并将辉光放电管的内部电阻保持在大致恒定的水平，并且将溅射速率自动地保持在恒定值。 构成：气态氩通过流入口5进入辉光放电管G，并从流出口6和7排出。 另外，在例如氩气供给管中插入流量控制阀V，通过电流检测器D检测与放电管G串联连接的电阻r上产生的电压降，通过比较器C控制阀驱动装置P，开闭阀V。当样品的溅射率低时，放电管G的内阻增大，管电流增大。 然后打开阀V以增加气态氩压，由此减小内阻并保持溅射速率恒定。 由此执行稳定分析。 |
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