| 复合分析仪 |
| JP61309946 1986-12-27 发明申请 |
| 1988-7-9 |
| 目的 : 以简化了一种交换机构和一种能量分析仪的轴对准中，以提高精度和质量当被交换的光谱仪，通过统一一透镜系统和一种横向电子检测器和滑动它们以使两个分析系统被自由更换的。结构 : 一预载物台部8a在一个透镜系统8被相对设置的一个发射端口4A的B一种能量分析装置4。这种预载物台部8a和一个AES电子检测器7被统一和由使它们被滑动横向通过一个交换机构9的装置和使任一个所述的预载物台部8a和所述检测器7被相对设置的所述发射端口4B所述能量的分析装置4。这种组合物简化了一个二次离子质谱仪之间的交换机构9的方法(sims)和俄歇电子分光分析(AES)，和除了所述能量之间的轴对准中的精度可以提高分析装置4和所述质量光谱仪5当被交换。 |
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