| 用于异物检查仪 |
| JP61228173 1986-9-29 发明申请 |
| 1988-4-14 |
| 目的 : 以缩短排气时间，通过提供一种由一阴极的放电和一个清洁电极和一个一真空容器中的阳极覆盖所述阴极，使加上离子放电到所述表面的平面上发生冲突时，它们所述容器，和从吸附气体分离的外来无光泽。结构 : 一晶片被放置在所述真空容器1的移动级2，一激光束被从一激光发射装置5，以使它扫描。在一个异物检测器7反射的光被接收，然后所述的异物被检测到，并且它被分析通过一个离子微分析仪8，和一质量光谱仪9。还，一种放电阴极15，和所述阳极16被设置以覆盖所述阴极，被提供。然后，放电气体11被引入，所述容器1被排出和所述的内部通过一真空泵10，和一个通过加热所述阴极15发射的电子是由一个功率源17，和一个辉光放电所述阳极之间产生的是16，和氦容器1和级2。所述的异物被从所述吸附气体分离通过使所述加上由上述离子产生的放电所述的表面上的碰撞所述容器1和级2。因此，由于排出和清洗功能是添加一种分析仪上，它是可能的，以缩短所述排气时间; 和以减少可达到的压力。 |
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