| 方法和装置用于测量反应容器中的气体分解率 |
| JP61114546 1986-5-21 发明申请 |
| 1987-11-26 |
| 目的 : 以允许所述的测量过程期间该气体分解速率由分别单独之前对所述气体引入到反应容器和所抽出的气体从所述反应容器质谱分析。结构 : CF4\/O2被填充在一个反应性气体气缸1和一个稀释气体中Ar缸2。所述气体后进行流率调整3，4，该气体被连接在一管道5和被引入作为所述气态混合物通过管道8到所述反应容器6。一种微波放电管被设置在所述反应容器6。该反应性气体是通过电分解放电激励时，微波电力为投掷到一谐振器。所述由所述反应性气体和稀释气体的气态混合物引入到所述反应容器6之前收集通过一管道9具有一截止阀11和一针阀13为一质谱仪7。所述反应容器6中所述反应性气体是然后被收集在该光谱仪7通过一管道10具有一截止阀12和一针阀14。在该过程是这样测量的该气体分解率。 |
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