| 质量光谱仪 |
| JP61076276 1986-3-31 发明申请 |
| 1987-10-13 |
| 目的 : 以增强所述测量的可靠性，通过提供一种真空度检测装置和一控制装置，用于控制所述所测量的开始和停止，以presume，从所述真空室中的真空度; 该时间在其所产生的母离子的量增加，和以可靠地检测母离子的。结构 : 真空度检测装置4用于检测所述真空室中的真空度1包括一种离子源极部分2，和一个控制装置9，10，用于控制所述测量的开始和停止依赖在所述的真空度被提供。一个所述所测量的开始处的真空度和所述的端部处的真空度该测量是根据一个时间区在其预设所产生的离子峰的量。在所述开始的信号指示所述的真空度所述测量和使所述端处的真空其被发送出从测量开始\/停止真空度设定电路9。一比较器10比较该信号与一信号指示所述实际的真空度和发送出从真空度测量电路8，和一质量光谱是由一质量光谱测量的测量电路11在根据一测量控制信号。因此，可以进行该测量可以在所述检测到的所述的基础上所述最佳定时的真空度; 然后该父离子可以确实地检测，以增强所述所测量的可靠性。 |
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