质量光谱仪
 
JP60287078  1985-12-20  发明申请

1987-7-24
 
  目的 : 以简化将中和进行工作的一个碰撞室排空和缩短的时间,通过安装一狭缝和所述碰撞室侧通过一相同的上侧基板,和使所述基板一方向垂直于该轨道中滑动的离子从所述的外侧真空容器。结构 : 一碰撞室(C)是安装在一基板(P)旁边的一狭缝(S)。该碰撞室是一个盒,和其前和后壁在离子传输方向被设置与开口(a)通过其离子是能够被发送,使得一个用于激活所述cillision气体可以被引入。然后,或者所述狭缝S或所述碰撞室(C)可以位于在所述轨道(Ob)的离子; 通过滑动所述基板(P)。因此,它们可以被简单地和快速地切换,和所述真空的质量光谱仪是不会断裂,从而使所述的排空的时间可以缩短。
 
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