| 离子束装置 |
| JP60228688 1985-10-16 发明申请 |
| 1987-4-25 |
| 目的 : 以达到高的速度控制质量分离，减少所述一个离子束装置的尺寸和节省所述通过使用一质量所需的电力，用于所述装置的隔板，其具有高的质量分离的能力和自由从使色像差。结构 : 本发明所述的离子束装置具有一个质量光谱仪18，它是位于两个透镜之间的3和4在所述光束的聚焦系统和由四个等尺寸的ExB12aw12d偏转器和一质量分离的隔膜10，其中所述开口是位于所述离子光学轴1上。上述透镜3被调整到聚焦离子束15在所述焦点13在所述质量分离膜10。该透镜4被调整到项目所述的图像，所述焦点13所述质量上的隔膜10上形成; 在一个焦点3‘的样品台6上。所述的电和所产生的磁场的方向在所述光谱仪18是由箭头指示。该电压(E1)，(E2)，(E3)，(E4)以及(e)被调整到相等。该电压(B1)，(B2)，(B3)，(B4)以及(b)被调整到相等。因此，仅给定的离子可以通过使它们进行质量分离行程上的所述离子光学轴1。 |
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