| 离子微束装置 |
| JP60060667 1985-3-27 发明申请 |
| 1986-9-30 |
| 目的 : 使在相同的照射位置，即使用于多个质量电荷比通过设置两个串联的MEAspectrographs垂直电\/磁场和一个虹膜板之间的两个静电透镜和会聚该光束。结构 : 所述离子源2的取出是通过一个静电透镜3会聚到一个虹膜板4然后通过一质量光谱仪5和拆分为所述梁6，6‘在根据所述质量电荷比，以被馈送到一个质量分离器5‘。该隔板5‘具有相同的质量所述的电和磁场的方向和对称靠在所述虹膜板4。该光束6，6‘辐射的所述虹膜板4上从点11被会聚通过一个静电透镜7到样品上的点8。所述虹膜的直径或该位置被改变到会聚所述单个或多个质量的离子电荷比以一个点和以扫描通过一偏转器10。在一平行光束通过透镜3的情况下，仅所述电流和磁场的方向所述质量的隔板5，5‘被反转以收敛类似地以单点。与这种布置，通过简单地控制所述离子微束被选择的所述操作条件和注入到同一位置。 |
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