| 扫描型表面膜分析方法和装置 |
| JP60034305 1985-2-25 发明申请 |
| 1986-8-28 |
| 目的 : 使它可能以自动测量所述组件\/浓度。该样品的表面的分布，水平扫描的一光纤或一种样品和导向拉曼散射的光以一种拉曼光谱仪。结构 : 从一激光束振荡的激光束源1通过一个光纤2被冷凝向该样品的测量部4由一聚光透镜3。该光纤2和光纤5用于拉曼束被连接到一个X-Y台6和设置以一个X-Y机构由两个步进电机驱动。该步进电机进行到程序控制到一个X-Y方向中被自动扫描和激光束7是照射在每个扫描点以产生拉曼散射光束8从该样品4。所产生的拉曼通过拉曼散射光束8被冷凝的聚光透镜9和传递通过一个光学光纤5，以测量所述的拉曼光谱的光谱通过一种已知的拉曼光谱仪10和衍射所述测量值被由计算处理11。 |
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