| 装置，用于照射的带电粒子 |
| JP61006410 1986-1-17 发明申请 |
| 1986-7-26 |
| 目的 : 使所述电子束和离子束的焦点距离要改变arbitrarity通过使用一种带电粒子从其两个所述电子束源和所述离子束可以被产生和适当地降低所述这些光束通过所述静电透镜的组合的直径和磁场透镜。结构 : 一种扫描电子显微镜-二次离子质谱法进行复杂的装置或类似的装置包括一带电粒子源1，用于同时产生电子和离子，静电透镜3和8，磁场透镜4和9，一隔膜7和一偏转电极10。一离子束6被聚焦，通过一个静电透镜的两个步骤组成的透镜系统3和8不通过该透镜的效果被影响该磁场透镜4和9。所述电子束的直径被降低到非常小电平通过一个复杂的四步骤透镜系统由所述透镜的3，4，8和9。二次电子16被检测和该检测结果被显示在CRT15。二次离子17被通过一个质量光谱仪分析18。因此，它是可能的，以两个所述离子束6和所述电子束照射在样品11通过所述的静电和所述磁场所述的组合透镜。 |
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