分析管用于氦检漏器
 
JP59132656  1984-6-27  发明申请

1986-1-21
 
  目的 : 以得到一种具有高灵敏度分析管和低背景通过安装一种大孔径之间的单透镜所述锥状的磁场质量光谱仪和所述离子源。结构 : 气体分子电离通过由灯丝1和加速发射的电子朝向阳极2。然后,所述因此通过一加速电极4产生的离子被加速,直到它们之前具有一个给定的能量被入射在一个单透镜13。离子15通过所述单透镜13被聚焦在所述位阻的会聚点的一锥状的磁场质量光谱仪5,以形成一个明显的离子源,用于所述质量光谱仪5所述的磁场,和然后被引入到质量光谱仪5。由于一个离子源3是在一个位置自由从所述的漏磁场的影响所述质量光谱仪5和一明显的离子源的图像被形成在所述的立体所述锥状的会聚点该质量光谱仪5的磁场通过所述单透镜13,该离子源3所述的性能是不劣化。
 
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