| 所述样品表面物理特性的测量方法，扫描探针显微镜 |
| JP2016022920 2016-2-9 发明申请 |
| 2017-8-17 |
| [问题]的样品表面形状相对应的物理特性分布的测量值，可在短时间内进行高分辨率化方法。[解决方案]一种探针扫描样品表面之间的多个测量点在样品表面，基于探针与样品表面获得所述测量样品表面形状的相互作用，每个所述多个测量点的特定物理量值的输入的输入输出关系相对应的另一预定物理量测量的物理特性值分配方法，输入值是固定的，表面形状的多个测量点的测量操作的输出值的测量组1(步骤S2-S E7)，测量该组1的操作，多个不同的输入值的每一个进行电压V的步骤(步骤S9-2N的值改变)，每个所述多个测量点，所述多个输入值对应于各个输入和输出值得到的物理特性(步骤S220)-10)。图中[图2] |
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