| 带电粒子射线分析仪 |
| JP59111952 1984-5-31 发明申请 |
| 1985-12-16 |
| 目的 : 使所述分析的位置以通过检测信息被自动设定之前从所述样品表面的光线一存储器中存储所述检测到的信息的光线，并且然后对由此获得的数据到卷积积分，随后通过计算该重力中心的一个区域的至少一给定电平，然后分析该重力中心。构造 : 由电子束扫描样品表面(S)(e)通过发送一个信号到一个扫描-信号产生电路4从一个计算机7。和，所述检测信号的一反射电子检测器6被存储在存储器8。然后，该存储器8所述的数据进行卷积积分以得到所述的操作转换数据。接着，至少一给定电平的一个区域是提取从所述转换数据和所述重力中心该区域被计算的。其后，该光束照射(e)在上述重力中心和执行频谱分析是使用一种X-射线光谱仪5。因此它是可能的，以至少一给定的自动分析颗粒尺寸在上述中心。因此，它是可能的，以提高该所分析的所述数据的可靠性和以减轻该负担以一运营商。 |
微信公众号