| 薄膜形成方法和设备 |
| KR1019850002484 1985-4-13 发明申请 |
| 1985-12-9 |
| <所述目的>用于形成一薄的膜分子线中使用的流率和使该速度的测定; 和反馈到装置-射线发生器分子，可以控制薄膜。<配置>分子(1)一加热容器(2)所述接收加热控制器(3)被加热，同时控制到所述均化与斩波器(4)上的分子束-关断到该脉冲分子束(5)中的转换。开口(6)限制扩散到4质量光谱仪发射度控制在不影响电子束电流(7)的离子源(8)达到，该部分，其离子化的4。质谱光谱仪中发射的控制，在不影响光束的电流。这些离子的乘法器(13)电子转换成，所述放大电路放大一个收集器(14)电流被收集到一个电流-电压转换器(15)，由于所述的电气信号经历一变化，以和速度上测量流量，其(16)。发送到。所述流量和速度测量所述相位检测器或多信道分析使用所述，输出所述加热控制器(3)所述分子束到项目所述光反馈到所述，薄膜(12)来控制。 |
微信公众号