| 连接装置，用于清洁表面 |
| JP58185053 1983-10-5 发明申请 |
| 1985-5-10 |
| 目的 : 以提供一串联的连接装置通过使材料具有高的效率，以被焊接到清洁和涂覆在一真空，使该材料通过一目标通过一个车厢到所述后续组装室，结合所述表面到被连接到面每个其它和进料进一步所述材料通过目标到一个加热压室。结构 : 材料，以被连接上放置一targer18由一机械手17被保持在一真空室3和被进行以清洁和涂布由一离子束枪15。其是由一质量光谱仪检查16所述状态用于决定清洁度。所述接受材料被携带通过一目标10aB通过一个滑架9成一个组装室2。所述两个材料以其被连接被组装到配合所述接头表面由上11，下13和水平12的机械手和进一步的材料被输送通过一目标10a一由所述滑架9成一个扩散接合室1，其中所述材料是进行，以加热和压缩接合。这种操作被完成一个系列的所述真空室中通过所述目标连接10a，10aB通过该该操作效率被显著地改进。 |
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