| 离子源 |
| JP58173008 1983-9-21 发明申请 |
| 1985-4-15 |
| 目的 : 以进行清洁工作，同时一个离子源是被通过包括每个成分的配合与一电绝缘体例如氧化铝和每个壁表面部分上打印一加热的加热器和光束通过相对内表面每个所述的组件作为一金属图案。结构 : 一样品气体的电离箱1中流动的流6是由一个电子束电离9从一个离子化的灯丝8和成为一种离子束7通过一引出电极2，透镜3，以及出射狭缝4，然后被发送出向一个质量光谱仪。一个鸟5施加一个电场，其所产生的离子在所述的方向移动所述电极2。该电离箱1，电极2，透镜3，狭缝4，和一种电绝缘体的鸟5被制成这种作为氧化铝。例如，所述狭缝4内打印一个加热器图案14和打印一金属图案11在一个离子束穿过相对的表面。该图案11和14也被施加到所述电离箱1，电极2，透镜3，和鸟5。作为结果，每个所述组件可以完全被清洗的同时一种离子源是被配合。 |
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