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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

等离子显示器

JP54103142 1979-8-15 发明授权

1985-4-8

目的 : 使通过测量光发射操作的最佳控制所述期望零件之间产生等离子体的强度经由狭缝平行平板式电极与电极平行。该观察窗(5)和光谱仪(4)之间，狭缝(9)为几乎平行平板电极2和6安装。将平板电极之间产生等离子体的移动狭缝2和6中的层9，光谱仪(4)，接着依次进行分光光度法。作为所述电极之间生成的等离子体的状态2和6可以测量，等离子体发生状态之间的关系和工作状态可以找到最佳的蚀刻控制，等，可以进行。