| 离子微 |
| JP58126599 1983-7-11 发明申请 |
| 1985-1-29 |
| 目的 : 分析一脆性断裂和反应后的材料，它在高真空和在高温度由提供一种用于分析的样品室和一个单独的腔室能够切断与一真空阀的和提供一加热装置，一切断装置，一反应气体引入装置，一排出装置，和一个样品转移装置在所述腔室。结构 : 一样品架11与样品12插入它被安装在一个样品中的交换室19，并被排出，然后一阀7被打开，并且它被传送到一加热器支架23的下方和具有一个加热器10加热。该样品12由两个导通和高真空中加热辐射与所述吸附材料是解吸到成为清洁的表面。所述脆性样品12是本发明提供了一缺口处断裂该样品在预先与一分断轴上。如果该断裂表面是待分析它是反应后，阀7，27被关闭和所述气体被引入从导入部9，该反应被完成，然后该反应气体在反应室8是排出，和所述样品转移到低于第一的离子束24的样品室4。这里，该光束通过第一产生的离子源1和加速是集中照射在样品12‘; 和通过所述溅射现象产生的二次离子被馈送到一个质量光谱仪5用于质量分析。 |
微信公众号