| 质量光谱仪 |
| JP58119654 1983-6-30 发明申请 |
| 1985-1-21 |
| 目的 : 使准确和容易测量质量的数量和一种计算机的所述级中的有效使用调节质量标记确定所述摩尔。重量。材料通过提供一个电压的扫描装置扫描所述电压被施加到检测器和平行扫描中所述电压施加到所述检测器与质量扫描。结构 : 该二次离子一种离子源中产生部2进入一个分析部6。一质量数量的参数是与扫描时间通过一控制装置中用于所述分析部8所述部分6通过其所述二次离子质量分离的和被放入一个检测器10。该电压施加到一检测器10是在平行扫描与所述扫描质量的数量参数在该部分6通过一个电压扫描装置12。由于所述二次电子的加速电压是通过改变这种扫描，所述检测器10所述的增益被最终扫描和所述检测灵敏度是与在所述质量的增加数量增加。所述门限值用于输出该信号是否从HT一个放大部分14是算术处理或不是一种cpu18中同时与扫描时间。所产生的噪声信号成分与一种增加所述检测器10是这样去除在所述的增益。 |
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