| 质量光谱仪 |
| JP59102532 1984-5-23 发明申请 |
| 1985-1-14 |
| 目的 : 使所述修复要执行的细孔阻塞的第一，在不破坏真空，通过安装一个所述离子化部之间的可动件和所述分析部的质量光谱仪，其中两个级中的差分耗尽系统被使用以块一种二次细孔。结构 : 在一个大气电离质谱仪，离子被引入到一个分析器部11由两个级的差分进行穷举通过使所述离子到行程从一个离子化部2具有一电晕放电电极1通过一第一细孔7之前，通过一个中间压力部8具有一个第二的细孔7。这里，一O形环垫圈13被附着到基板12以其一个电极具有第二细孔7被固定和所述基板12被压向所述O形环13通过装置的一个辊10具有一弹簧14通过栅板9向上和向下移动，以保持所述所述分析部11的真空。作为结果，当所述差分排气部的紊乱如第一细孔的阻塞3发生，可以进行清洗而不降低所述分析部11所述的真空度。因此，所述质量光谱仪所述的操作的速率可以被改进。 |
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