质量光谱仪
 
JP58099816  1983-6-4  发明申请

1984-12-19
 
  目的 : 使所述初级离子的能量要保持恒定,即使当所述初级离子的加速电压被扫过安装两个可变高电压功率用于加速所述初级离子源,用于提供电压和一个所述可变的吹扫装置,用于扫描所述高电压的高电压功率源同步地与所述加速电压的所述二次离子。结构 : 一可变高电压功率源8在其电压可以被改变,被安装在所述主-离子侧。从所述功率源8,高电压(E1)用于accelerationg一次离子(I1)是分开提供到初级-离子-侧透镜4a和4b。在另一方面,从一可变高电压功率源12,高电压(E2)用于加速二次离子(I2)被提供给二次离子-侧透镜分割10a,10b,10c和样品6。同步与此,该加速度所述初级电压(E1)的离子-侧可变高电压功率源8也扫与一扫描装置16。因此,由于所述相对电-电位之间的差(E1,E2)所述可变高电压功率源8和12不改变,所述能量的所述初级离子(I1)上照射一样品6不变化。
 
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