| X-射线光电子光谱仪 |
| JP58033624 1983-2-28 发明申请 |
| 1984-9-8 |
| 目的 : 向所述样品的表面上的数据转换成通过转换图像中从点发射的X-射线光电子一区，其中X-射线被制成以所述表面上照射所述试样放入多方向平行的电子束使用一种电子透镜和所述光束引起的任何一个的进入该入口孔径的电子的能量分析器。构造 : 如果电压被施加到偏转电极D使用一个偏转信号发生器电路G在这种一种方式为使平行电子束(a)符合到所述光学透镜的F轴，X-射线从该点发射的光电子一种在一样品S是引起以进入一能量分析仪E通过所述孔径H。所述能量分析仪E是用于检测一个电子具有特定能量和所述检测到的结果是使用作为CRT的亮度调制信号作为一显示装置，其是进行偏转控制与所述电压波形施加到所述偏转电极D，以获得一个所述样品图像的所述的表面S的同时所述电压施加到所述偏转电极D是由恒定，如果所述的电子能量分析仪E是用于扫描所述的电子能量，它将成为可能，以检查所导出的X-射线的电子能量分布从任何点所述样品上。 |
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