| 离子微 |
| JP57138598 1982-8-11 发明申请 |
| 1984-2-16 |
| 目的 : 以促进所述选择的各种操作模式通过促进所述调整所述的机械轴的一离子微分析仪配备有多个限制狭缝限制二次离子开口角和一个分析区域和选择所述狭缝通过切换它们在响应于一个分析的目的。结构 : 一主离子束2被偏转通过一偏转电极11连接有一偏转功率源12，和扫描样品1所述的区域1上。一个二次离子加速功率源3被连接到该样品1到seconcary发出的离子加速4。所述二次离子4被聚焦到一个由一透镜5入射狭缝6部分，并进入到一质量光谱仪部8。该质量光谱仪部8将所述二次离子4在响应于它们的质量数量，并检测二次离子具有特定质量数通过一收集器狭缝9由一检测器10的装置。一限制所述incicent狭缝6之间的狭缝7被提供和该质量光谱仪部分。该限制狭缝7具有两个功能，一个用于限制所述开口的角度所述二次离子进入所述质量光谱仪和所述其它用于限制一种样品表面区域要进行质谱分析由所述的组合所述的放大透镜5和一狭缝的直径。因此，该限制狭缝7被构造以能够被交换在多个阶段在其直径。 |
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