| 等离子体-监视器 |
| JP57118526 1982-7-9 发明申请 |
| 1984-1-19 |
| 目的 : 以监测所述形成一薄-膜的质量在一等离子体CVD装置，和以得到所述的薄-膜通过频谱质量高的衍射一特定光-发射等离子体辐射的波束从所述CVD装置中的化学种类和所述所述的光-发射离子化学种类通过使用光谱仪，分别存储每个发光的量到一个存储器和计算和显示这些量的比率。结构 : 高频率电压从一高频电源2被施加到平行板型电极3在所述等离子体CVD装置1，和一个等离子体产生的照明5是从一窗口4发出的形成到所述装置1，和投影到该光谱仪7通过一透镜6。该光谱仪7是由一狭缝75构成，反射镜71w73和一个衍射光栅74，和束从该光谱仪是由一个光检测器8检测，和发送在一个变换器13通过一个放大器11和AD转换器12。该光栅74被转动和所述特定的光-发射该光束5中的化学种类和量在一个发光波长的发光的所述的离子种类是由一扫描器9扫描，和一个从所述扫描仪输出被添加到所述变换器13通过一控制器10。该输出是通过所述变换器13上的改变，和与所述量的时间变化的发光被存储到存储器14，15。 |
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