| 刻蚀端检测装置 |
| JP57098537 1982-6-10 发明申请 |
| 1983-12-16 |
| 目的 : 该在线的基础上，以检测蚀刻端获得单独的光的发光强度，同时消除噪声分量从每个晶片的分光光度计波形。结构 : 所述各自的等离子体放电光束40被通过一个冷凝器冷凝的透镜10b和cyclicly取出到一个光谱仪11，用于所述的L-片上的晶片，所述蚀刻电极20通过旋转一个旋转镜10a的一个通过驱动一束光束收集器10收集驱动器19与时钟脉冲(b)从一时钟发生器17发送。一个定时电路18产生定时脉冲与该时钟脉冲(b)同步。一个A\/D转换器15，它是通过驱动每个脉冲将一采样保持电路14保持的值以一个数字值并顺序地输出每个数字值。各自的数字值被顺序地读取到一个数字运算处理电路16与每个转换端信号端和所述存储器中被传送和存储电路。所述指定数量的连续数字值的平均值是通过获得所述指定的时间上计算根据用于每个晶片串联。此外，一平均部分是判断用于各个晶片从该事实一连续的平均差值变得低于所述指定的值和这些部分被考虑作为该蚀刻终点。 |
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