| X-射线光电子光谱仪 |
| JP57083664 1982-5-17 发明申请 |
| 1983-11-21 |
| 目的 : 以获得本地信息如所述样品的表面上的元件的密度分布与一高分辨率的一个孔中形成一个电子入射狭缝的位置。结构 : X-射线从X-射线管7照射该样品的表面6和一个光电子束形成一个图像用于所述X-射线照射该样品区域在所述的表面6所述表面上的一孔-状狭缝2与一三极的圆柱形的静电电子透镜4。所述电子束被偏转，在所述方向X和Y与电极5。所述的电子束通过孔-状狭缝2是与一个检测器3检测通过双球形式电子能谱仪1和所述输出其指示一特定浓度的信号元件在所述表面一种CRT上的一样品作为亮度信号。因此，本地信息可以在所述的密度分布获得的所述的特定元件与一个高分辨率位置。 |
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