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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

电镜和像差测量方法

JP2016018790 2016-2-3 发明申请

2017-8-10

[A]可以测量高精度电镜中的像差。[解决方案]100的电子显微镜，电子源，会聚电子束的电子束EB源产生样品辐照透镜系统，所述透镜系统在照射在样品上扫描的电子束收敛，电子束EB的角度从电子束EB透过不同的样品S的出孔30。多个角度限制节气门和32，有节流阀(30)穿过电子束EB检测部(20)，包括。图[图3]