| 双聚焦质量光谱仪 |
| JP54124414 1979-9-27 发明申请 |
| 1981-5-1 |
| 目的 : 以一光谱仪小型化并获得其高的性能，通过这种方式构成和电场中的装置使该电场中的电极与其在90A°偏转角被设置在同一基板与磁场和一个收集器外壳和空气通过一个电场情况下和上板紧密包封。结构 : 一电场4的偏转角度被设定到90A°，在面-面电极的表面也一纵向方向中弯曲以形成它们为一环形形状。进一步所述磁场5被设置在这样的一种方式为，以中和进行斜导向一个离子束3。所述的形成面-到-所述电极表面的表面到所述环形的形状聚焦离子束3还在一垂直方向以一特定离子的量增加进入一个入射狭缝6和赋予所述用于降低一个系数的像差的效果高的顺序。 |
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