离子微
 
JP56170585  1981-10-23  发明申请

1983-4-28
 
  目的 : 以得到一种离子微分析仪,其可以显示期间所注入的深度所进行的分析通过提供所述的两个输出装置,其显示该变化所述的detectional信号的整个二次离子强度,以及一装置显示所注入的深度的每次当该二次离子的量达到饱和值该饱和值或一个的多个numberth。结构 : 产生二次离子5被与一个总离子监视器11通过一个能量检测分析仪6。接着,该监视器11所述的detectional信号和一个定时器12被存储的所述采样时间信号在一个存储器电路13。然后,从所述电路13发送一个信号被发送到一个饱和值检测电路14,其中所述饱和所有的二次离子被检测的值。其后,定时脉冲与一饱和值的一半被传送的周期从一定时器15成一个输出设备10。在另一方面,二次离子,其具有一指定的质量和质量光谱仪中被分离的7根据该质量被输送到所述输出设备10通过一检测器8和一个放大器9。作为所述输出设备10,一阴极-射线管,一个XY绘图仪或等被使用。如果必要,所注入的深度可以被转换成数字格式后显示。
 
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