| 质量光谱仪 |
| JP56164126 1981-10-16 发明申请 |
| 1983-4-20 |
| 目的 : 以获得一种高度敏感的质量光谱仪使所应用的结构不构成所述的放电现象离子加速电压,使得开关能够以设置屏蔽管,一分析管,出射狭缝,和入射狭缝在所述接地电位时,所述离子源是在一正电位和设置它们在所述负电位时,所述离子源是在所述接地电位。结构 : 一种离子源的情况下是在一高的正电位和一加速度目标是在所述地电位作为由实线所示,一正常测量之前是可行的作为。由于一个离子源7,壳体8,和集电体外壳10是金属制真空容器组装在所述接地电位,不影响是给定的屏蔽管17,19,21。不过,当一个转移开关22被切换到该虚线的状态,一个电离室1被设置在所述接地电位和所述的加速度目标是设置在所述高负电位。这种情况下,不发生放电现象引起所述离子源侧上通过一高电位。进一步,所述加速场中的单个组件的元件是在该绝缘结构更简单和更易于施加一与所述离子源相比高电位侧从而被应用于具有一个大的负电位,从而导致在一高离子加速度侦测电压。 |