| 用于多点扫描显微镜装置和方法 |
| US15427337 2017-2-8 发明申请 |
| 2017-8-10 |
| 本发明涉及一种多点扫描显微镜装置， 具有用于提供至少一个照明光束的多色光源， 具有用于将照明光束分成多个照明子光束的分束装置， 具有用于提供照明光路的第一光学装置，所述照明光路用于将各个照明子光束分别引导和聚焦到待检查样品上或样品中的光点中， 具有 : 扫描单元，用于在所述探针上引导所述光点；检测单元，用于检测在用所述单个照明子光束照射之后的检测子光束中由所述样本发射的检测光；第二光学装置，用于提供用于将所述检测子光束引导到所述检测单元的检测光路；控制和评估单元，用于控制所述扫描单元并用于评估由所述检测单元检测到的检测光。 该装置的特征在于，在用于至少两个照明子光束的照明光路中，存在用于独立设置各个照明子光束的光谱成分的可控光束操纵装置，并且控制和评估单元被设计成控制光束操纵装置。 本发明还涉及一种多点扫描显微镜的方法。 |
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