| 泄漏检测器 |
| JP56134670 1981-8-26 发明申请 |
| 1983-3-2 |
| 目的 : 提供一种装置，其中，大大提高了灵敏度，通过一种方法，其中质谱仪的入口和用于待分析的气体被形成在所述中间的一路径，其中一气体分子被压缩，通过一涡轮分子泵。结构 : 一个泄漏检测器被构成使得一个涡轮分子泵11和一个辅助真空泵2被安装在串联在一真空排气路径3。质谱仪5的一个入口5a和用于待分析的气体被形成在所述中间一气体分子的压缩路径。一个在一壳体25的上端开口形成一个抽吸端口27，和一个排气端口2是形成在一个基帧21。与该泵11的转子23在一高的速度旋转，一气体分子，逐渐压缩由一转子叶片组24中形成多级，到达排气端口27。一个穿孔25a被设置在所述壳体的所述中间部分25用于泵11，和所述入口25aS的质量光谱仪5和用于待分析的气体被连接到所述穿孔25a。 |
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